浅谈蚀刻因子的计算方法
浅谈蚀刻因子的计算方法
田玲
李志东
510730)
(广州市兴森电子有限公司,广东广州
摘要
文章针对业内不同蚀刻因子的计算方法做了较详尽的分析,并结合试验验证进而提出对蚀刻因子计算方法
蚀刻因子;计算方法;侧蚀
文献标识码:A
文章编号:1009一0096(2007)12一0055一02
的一点看法,对于蚀刻因子的正确运用有一定的参考价值。
关键词
中图分类号:TN41
Discussionin
AbStraCt,via
a
Method
ofEtchFactorCalculation
Li2抽dong
opillionofcalculationalmetllodwasbroughtfonvord.And
TiaIlLing
Ttlispaperaimsatt11epmblemofsomediff日entetchfactor’8calcllladonalmemodi11日1ePCBir-dust呵
seriesoftrialaJldtheanalysis
soIne
ofMicmsecdon。some
itwillbe
sigIlificaIlcetomaketlleetchfatormuchmoreexenion.
etchfactOr:caJcuIa“onaImethod:undercut
Kevwords
f)前言
众所周知,PCB导线是通过化学蚀刻而形成的。由于蚀刻液是从露铜表面开始向内部(或下面)逐步进行蚀刻的,所以向内部(下面)垂直蚀刻的同时,也向侧面铜箔进行水平蚀刻,形成所谓的蚀刻侧蚀现象。为了定量比较蚀刻线的蚀刻质量(侧蚀大小),我们定义了蚀刻因子,用其作为定量衡量蚀刻质量和蚀刻线蚀刻能力的指标。
然而,对于蚀刻因子的实际计算却一直存在多种理解,本文在理论与试验相结合的基础上,对蚀刻因子的不同计算方法进行了探讨,并提出了对蚀刻因子计算方法的一点看法。
计算依据的,具体计算公式如下(图1):
蚀刻因子一蚀刻线厚,【(下线宽一上线宽),2】
图1蚀刻因子计算方法1
1.2计算方法分析
由于设备和操作等因素的影响,蚀刻过程通常会呈现三种可能状态:蚀刻不足、正常蚀刻和过度蚀刻(图2)。正常蚀刻状态(理想状态)是指蚀刻后蚀刻下线宽与蚀刻抗蚀层宽度相等的状态,此时按方法l公式计算出的蚀刻因子为理想蚀刻因子,可
1蚀刻因子计算方法1
1.1
计算公式
方法1是部分人对蚀刻因子的理解结果,计算
方法是以蚀刻过程完成后蚀刻线的上线宽和下线宽为
Printedc.rcu_t|nformation印制电路信息2007No.1
2………
万方数据
:………Su—:aCeFjnish……・
…………………………………………………………
以真实反映蚀刻线的蚀刻能力。但是,对于我们实际蚀刻过程中经常出现蚀刻不足或过度蚀刻(过蚀较常见,以此为例),如仍使用方法l计算就会造成蚀刻
因子的计算偏差。分析偏差原因可知:从蚀刻到露基
材起,蚀刻线路后续形成过程中,由于线路上表面有抗蚀层的保护,不易受药水侵蚀,药水交换不好,所以蚀刻反应速率比较慢;而线路下表面与药水充分接触,交换很好,所以蚀刻反应速率比较快。随着蚀刻的进行,上下线宽之间的线宽差异(下线宽一上线宽)慢慢缩小,在过蚀情况下,如果仍然使用方法l的公式计算,相当于减小了上下线宽之差,也就等同于“提高”了蚀刻因子。而且过蚀越严重,上下线宽差异就越小,以致“蚀刻因子”也就越大。
图2
蚀刻的三种状态
本文试验分析了不同铜厚板(0.50z、10z、20z)蚀刻后的蚀刻因子。使用方法1计算,试验结果显示:过蚀越多,蚀刻因子越大。对于正常蚀刻的0.50z薄铜板计算蚀刻因子为2.5,而过度蚀刻的厚铜板
(1
oz和20z)蚀刻因子高达5.6和6.0,差异很大,
这与业界经验:蚀刻因子一般在24之间(参见《高密度封装基板》)相悖;同时,如果此结论成立,反推过来,提高蚀刻线能力(得到大的蚀刻因子)只需严重过蚀即可,这不符合常理,所以方法1存在很大的局限性,只能用于正常蚀刻状态。
2蚀刻因子计算方法2
2.1
PC标准概念(IPC一600G)
蚀刻因子是指垂直蚀刻深度与横向侧蚀宽度
(侧蚀量)两者之问的比值(如图3(1))。
侧蚀是指导线每侧平行板面的最外缘(含抗蚀层)与导线内缩后的最内缘对比时两缘之空问距离。2.2计算方法分析
在IPC标准概念的理解基础上,计算方法2的公式应为:
蚀刻因子=蚀刻线厚/[(抗蚀层宽度一最窄线宽)/2】。结合文献资料可知:使用方法2计算蚀刻因子涵盖了蚀刻过程的三种状态是:过度蚀刻、正常蚀刻和
;……..Printed
Circuitlnformation印制电路信息2007No.12
万
方数据蚀刻不足。IPc标准中蚀刻因子的计算示图显示的是轻微过度蚀刻时的状态;《高密度封装基板》中蚀刻因子的计算示图显示的是正常蚀刻的状态;而《现代印制电路原理与工艺》对于蚀刻因子的计算示图显示的是轻微蚀刻不足的状态(图3)。
图3摘录蚀刻因子计算方法示意图
对于上述同一试验,使用方法2来计算蚀刻因子,试验结果显示:正常蚀刻的薄铜板蚀刻因子为2.7,而过度蚀刻的厚铜板蚀刻因子分别为2.3和2.0,
差异较小,且蚀刻因子都在2.4之间,符合业界经
验。试验证明:在保证线宽/间距要求和蚀刻线质量的前提下,使用方法2计算出的不同蚀刻状态下的蚀刻因子能够近似反映蚀刻线的蚀刻能力。而正常蚀刻状态是一种理想状态,在此状态下计算的蚀
此外,摘录蚀刻因子计算示图中均假想线宽横截图4实际蚀刻因子计算方法
刻因子最能真实的反映蚀刻线的蚀刻能力。故建议蚀刻因子的计算前提最好是在正常蚀刻状态下。
面呈梯形(最常见),此时线宽最窄处为:上线宽侧蚀量=(抗蚀层宽度一上线宽)/2而在实际生产中,线宽横截面不全是梯形,可能斜边会有一定弧度,此时线宽最窄处就不是上线宽,而是线宽腰部两弧度之问的最小距离(图4);而当线宽横截面出现倒梯形,此时的线宽最窄处就是下线宽了。故应根据具体情况,灵活运用公式。
参考文献
【1]田民波,林金堵等.高密度封装基板【M】.北京:清华大学出版社.2003:556
【2]张怀武.现代印制电路原理与工艺.2006:172
【3】IPC一6009
浅谈蚀刻因子的计算方法
作者:作者单位:刊名:英文刊名:年,卷(期):被引用次数:
田玲, 李志东, Tian Ling, Li Zhidong广州市兴森电子有限公司,广东 广州,510730印制电路信息
PRINTED CIRCUIT INFORMATION2007,(12)1次
参考文献(3条)
1. 田民波. 林金堵 高密度封装基板 20032. 张怀武 现代印制电路原理与工艺 20063. IPC-600g
本文链接:http://d.wanfangdata.com.cn/Periodical_yzdlxx200712015.aspx
授权使用:广州兴森快捷电路科技有限公司(jszx01),授权号:aa77d841-e97e-43aa-b09c-9e9d011824ad
下载时间:2011年3月5日
相关文章
- PCB可靠性测试方法
- 双色碲镉汞红外焦平面探测器发展现状
- 注册环评工程师20**年案例分析真题(无答案)
- 典型PCB企业突发环境事件产生的原因和防范措施
- 第三章细胞质膜
- 半导体工艺流程九
- 工业工程毕业设计(原创)
- 项目方案模板1
- 金属标牌的制作工艺
PCB可靠性测试方法 测试项目的品质要求和判定标准 序号 内容 1 棕化剥离强度试验 2 切片试验 3 镀铜厚度 4 补线焊锡,电阻变化率 5 绿油溶解测试 6 绿油耐酸碱试验 7 绿油硬度测试 8 绿油附着力测试 9 热应力试验(浸锡) ...
第39卷 第4期 激光与红外 2009年4月 LASER & INFRARED Vol.39,No.4April,2009 文章编号:100125078(2009)0420367205 ・综述与评论・ 双色碲镉汞红外焦平面探测器发展 ...
第一题 二级省道改扩建 拟对某一现在有省道进行改扩建,其中拓宽路段长16km,新建路段长8km, 新建.改建中型桥梁各1座,改造事全线为二级干线公路,设计车速80km/h, 路基宽24m,采用沥青路面,改扩建工程需拆迁建筑物6200m2. ...
典型PCB金业突发环境事件产生的 原侈和防范措施 " 陈施文 福建福州 350002) (福建省节能监察(监测)中心 摘要为积极应对突发环境事件,规范企业环境应急管理工作,提高应对和防范突发环境事件能力.PcB企业必须分析产生突发 ...
第三章 细胞质膜 知识要点: 1 .了解几种膜分子结构模型学说,并评价. 2 .掌握膜结构的组成成分和组成方式. 3 .理解质膜流动性和不对称性两大特点. 本章内容提要 第一节 细胞质膜的结构模型 一.生物膜的结构模型 二.膜脂 三.膜蛋白 ...
半导体工艺流程九 微机电制作技术,尤其是最大宗以硅半导体为基础的微细加工技术(silicon- based micromachining),原本就肇源于半导体组件的制程技术,所以必须先介绍清楚这类制程,以免沦于夏虫语冰的窘态. 一.洁净室 ...
山 东 ** 大学 SHANDONG INSTITUTE OF BUSINESS AND TECHNOLOGY 毕业论文(设计) GRADUATION THESIS (DESIGN) 基于PDM的PCB生产过程控制研究 The Study ...
有限公司 低含铜废液环保处理和资源回收项目方案 一. 项目概况 二. 项目设计 三. 项目范围的确认 四. 运行成本估算 五. 效益估算 六. 合作模式 目 录 富源科技 http://www.wot-hk.com 一. 项目概况 1.1 ...
金属标牌的制作工艺 在我们的日常生活中,金属标牌很常见,各式各样的金属标牌总会在不经意间,映入了我们的眼帘,它已经成了我们生活中的一道风景线. 金属标牌种类非常多, 应用的领域非常广泛.它的制作工艺不仅能制作成各种样式的标牌,还能制作一些精 ...